水銀プローバ

再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。 Si、化合物、SOI、SiC、バルクウェハといった様々なタイプのウェハ特性を測定できます。ユーザが最大49箇所の測定サイトを指定し、C-V、I-V特性、TDDB、Vbd、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化膜厚、Low-k、High-k等のマッピング測定が可能なトータルシステムです。 CVMAP92M：マニュアル測定タイプ 商品参考リンク：https://www.oyama-web.com/cv.html

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